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蓝宝石衬底配方加工工艺技术生产制作方法-利来国际登录

发布时间:2021-12-22   作者:admin   浏览次数:107

1、一种加工蓝宝石衬底led芯片的方法及装置
 [简介]:本技术涉及芯片激光加工领域,具体提供了一种加工蓝宝石衬底led芯片的方法及装置,本技术提出的加工方法,先在led晶圆表面划线产生较浅的初始裂纹,然后对初始裂纹处进行加热和冷却,使其产生应力,然后沿着垂直于led晶圆镜面的方向对初始裂纹施加冲击压力,将led晶圆沿着初始裂纹压裂,能够实现压裂之后的led晶圆侧面光滑呈镜面状,同时激光划线深度浅,使得改制层深度浅,本技术提出的加工装置,能够实现对led晶圆进行同步激光划线处理、加热处理和冷却处理,加热处理时,加热产生的气流能够将激光划线产生的熔融物从初始裂纹中排出,避免粘接在初始裂纹中,还能够对led晶圆沿着初始裂纹进行压裂处理,压裂间距和初始裂纹之间间距一致,精度高。
2、一种图形化蓝宝石复合衬底的制作方法
 [简介]:本技术涉及了一种图形化蓝宝石复合衬底的制作方法,包括:步骤a:在al2o3晶片上均匀涂覆一层sio2溶胶、形成sio2涂层;步骤b:对带有sio2涂层的al2o3晶片进行热处理;步骤c:热处理完成后,再进行清洗、形成sio2?al2o3复合衬底;步骤d:在sio2?al2o3复合衬底上涂覆一层正性光刻胶涂层、并加工形成光刻胶掩膜层;步骤e:以光刻胶掩膜层、sio2涂层两者作为阻挡层,对al2o3晶片进行刻蚀,并加工形成图形化蓝宝石复合衬底。通过上述设置,可解决目前蓝宝石sio2复合图形化衬底制备工艺中存在颗粒问题、sio2厚度均匀性问题、以及各个结构层晶格失配导致整体结构强度差的问题。
3、一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法
 [简介]:本技术提供一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法,该方法在切割之前,先使用pmma对石墨烯晶圆进行预处理,再对石墨烯晶圆使用ebl完成对石墨烯晶圆的赋型并暴露切割轨迹,然后去除pmma涂层和切割轨迹上的石墨烯,最后按切割轨迹对石墨烯晶圆进行切割。本技术提供的方法对石墨烯晶圆进行ebl刻蚀,破坏了pmma和石墨烯在被切割部位的粘着性,使得在切割过程中目标区域的石墨烯可保持其完整的性能,该方法可以实现对基于蓝宝石衬体的单层石墨烯高效低损的切割,可应用于大规模石墨烯器件制备过程。
4、一种蓝宝石复合衬底及其配方技术
 [简介]:一种蓝宝石复合衬底的配方技术,包括如下步骤,在蓝宝石衬底上生成一层aln薄膜,利用化学气相沉积法在aln层上沉积一层sio2层,利用光阻剂及纳米压印设备进行图形转移,在sio2层上形成光刻胶孔洞,再进行干法蚀刻,使得光刻胶孔洞进一步蚀刻为图形化孔洞,所述图形化孔洞贯穿sio2层,所述图形化孔洞为上截面面积大于下截面的漏斗形。本方案采用沉积一层aln层,再化学气相沉积法在aln层上沉积一层sio2层,通过蚀刻获得sio2层上的图形化孔洞的做法,能够提升衬底对于光线的全反射效果,进而提升led的发光亮度。
5、废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底
 [简介]:本技术提供了一种废弃蓝宝石衬底的再生方法,其包括:将废弃蓝宝石衬底采用第一溶液清洗;在1100~1400℃下进行热处理;再用第一溶液清洗,最后用氧化性溶液清洗,即得到再生蓝宝石衬底。其中,热处理过程中维持混合气体气氛,所述混合气体为氢气、氮气、氯气或氯化氢中的至少两种的混合物;第一溶液选用碱溶液,或所述第一溶液选用磷酸和/或硫酸;氧化性溶液选用硫酸、硝酸、双氧水中的一种或多种的混合物。相应的,本技术还提供了一种蓝宝石衬底,其采用上述再生方法再生得到。实施本技术,可解决大尺寸废弃蓝宝石衬底的再生问题,同时本技术工序简单,再生效率高。
6、一种用于蓝宝石衬底倒角的砂轮及其配方技术
 [简介]:本技术提供了一种用于蓝宝石衬底倒角的砂轮及其配方技术,包括砂轮基体及磨料层,所述磨料层由金刚石和结合剂混合后烧结而成,所述金刚石和结合剂质量比为1:15,所述结合剂包括如下重量份组分:铜粉10?20份,锡?铜合金粉10?30份,锡粉5份,三氧化二铬粉末10?15份,铁粉5?20份,钴粉30?60份,石蜡1份。本技术砂轮不仅提高了砂轮单沟槽的使用寿命,极大的提高了生产效率,保证了蓝宝石衬底退火后不崩边,提高良品率;节省了生产过程中基体、模具的重复损耗,同时生产时,减少了砂轮装夹的时间及砂轮修理的次数,大大的缩短了砂轮生产和工件加工的时间及成本。
7、一种蓝宝石模板上gan单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
 [简介]:本技术提供一种蓝宝石模板上gan单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法,包括固定加热炉和括激光器、光束整形器、振镜系统和成像设备,固定加热炉用于固定、加热待剥离样品,激光器发出的激光依次经过光束整形器、振镜系统照射到待剥离样品上,待剥离样品反射的照明光成像至成像设备上,实现剥离过程的实时监察。本技术的装置固定加热炉用于控制剥离的温度,缓解由激光照射与非照射区域温差引起的应力,提高完整剥离整片gan单晶衬底的良率,可通过调整激光能量、光斑直径、剥离温度、扫描速度与扫描路径等参数调整剥离工艺,通过显微成像系统实现剥离过程的实时观察,可随时反馈剥离情况,调整剥离工艺,实现完整gan单晶衬底的剥离。
8、一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法
 [简介]:本技术提供一种基于蓝宝石衬底的石墨烯薄膜切割方法,该方法在切割之前,先使用pmma对石墨烯晶圆进行预处理,再对石墨烯晶圆使用ebl完成对石墨烯晶圆的赋型并暴露切割轨迹,然后去除pmma涂层和切割轨迹上的石墨烯,最后按切割轨迹对石墨烯晶圆进行切割。本技术提供的方法对石墨烯晶圆进行ebl刻蚀,破坏了pmma和石墨烯在被切割部位的粘着性,使得在切割过程中目标区域的石墨烯可保持其完整的性能,该方法可以实现对基于蓝宝石衬体的单层石墨烯高效低损的切割,可应用于大规模石墨烯器件制备过程。
9、一种基于蓝宝石衬底的alon矩形纳米阵列及其配方技术
 [简介]:本技术涉及一种基于蓝宝石衬底的alon矩形纳米阵列及其配方技术,该配方技术包括步骤:s1、在蓝宝石衬底的表面进行氮离子注入;s2、对经过氮离子注入的蓝宝石衬底进行退火处理,形成alon矩形纳米阵列框架;s3、在alon矩形纳米阵列框架上生长aln;s4、对aln进行原位高温退火,形成aln高温保护层和alon矩形纳米阵列,其中,alon矩形纳米阵列嵌入蓝宝石衬底,aln高温保护层位于alon矩形纳米阵列上和蓝宝石衬底上;s5、在aln高温保护层上制备hvpe?aln保护层。该配方技术制备得到了一种既保证蓝宝石衬底表面原子级光滑平整又可以稳定提升aln材料质量和衬底出光效率的微/纳米结构蓝宝石图形化衬底。
10、一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其配方技术
 [简介]:本技术涉及了一种图形化蓝宝石复合衬底结构及其配方技术,配方技术包括:步骤a:采用沉积工艺,在蓝宝石基底表面进行镀膜、形成复合膜层;其中,复合膜层包括氧化硅膜层、氮化硅膜层以及氮氧化硅膜层中的至少两种;蓝宝石基底与复合膜层构成镀膜基片;步骤b:在镀膜基片的表面涂布压印胶;步骤c:采用纳米压印工艺、通过蓝宝石衬底模板对压印胶进行压印,将其衬底图形结构转移至镀膜基片上、形成压印掩膜结构;步骤d:对带有压印掩膜结构的镀膜基片进行刻蚀、加工形成图形化蓝宝石复合衬底结构。通过上述设置,可解决目前图形化蓝宝石衬底结构材料和图形结构单一导致led器件出光效率、光提取效率无法进一步提升的问题。
11、去除蓝宝石单抛衬底背面色差的清洗方法
12、大角度斜切蓝宝石衬底aln制备、发光二极管及其配方技术
13、高波长一致性的led芯片用图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法
14、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
15、一种高亮度深紫外led用图形化蓝宝石衬底及其配方技术
16、一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置
17、基于蓝宝石衬底的hemt的配方技术
18、代替蓝宝石衬底晶片酸洗的清洗工艺
19、一种蓝宝石衬底、加工方法及发光二极管的配方技术
20、在蓝宝石衬底上沉积金属铂薄膜图形的方法及产品和用途
21、一种蓝宝石衬底减薄砂轮及其配方技术
22、一种led蓝宝石衬底的自动装片装置
23、一种图形化蓝宝石复合衬底及其配方技术
24、一种蓝宝石衬底的稳固装置
25、桥链型图形化蓝宝石衬底、配方技术及led外延片
26、一种多复合层图形化蓝宝石衬底的配方技术
27、一种蓝宝石复合衬底及其制作方法
28、一种回收图形化蓝宝石衬底的方法
29、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
30、一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的方法
31、一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液
32、具有非极性、半极性面的图形蓝宝石衬底、可见光通信光源及其配方技术
33、蓝宝石衬底减薄用砂轮齿
34、一种可剥离蓝宝石衬底的氮化镓基垂直器件配方技术
35、蓝宝石衬底切割片再生加工方法
36、一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法
37、一种大尺寸蓝宝石衬底晶圆片的面型修复方法
38、一种使用感光性聚硅氧烷制作图形化蓝宝石衬底的方法
39、一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法
40、一种蓝宝石衬底的制造方法和滴蜡设备
41、蓝宝石衬底用减薄砂轮
42、一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置
43、一种蓝宝石衬底粗糙表面碳化硼的去除方法
44、用于蓝宝石衬底晶片磨削的固着磨具及其配方技术
45、一种提升蓝宝石衬底平坦度的工艺
46、一种用于蓝宝石衬底片碳化硼研磨后的清洗方法
47、一种超声电化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置
48、一种蓝宝石衬底使用液体蜡的回收方法
49、一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法
50、一种蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理方法和喷砂装置
51、一种回收图形化蓝宝石衬底的方法
52、图形化蓝宝石衬底报废品的重制方法
53、一种生长在蓝宝石衬底上的硫化钼二维材料的配方技术
54、一种提高蓝宝石衬底制备效率的方法
55、蓝宝石衬底抛光液
56、在基于图形化蓝宝石衬底的石墨烯上生长氮化镓的方法
57、一种加工蓝宝石衬底led晶圆的方法及激光装置
58、一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法
59、一种gan外延膜和蓝宝石衬底自剥离方法
60、蓝宝石斜切衬底优化氧化镓薄膜生长及日盲紫外探测器性能的方法
61、一种蓝宝石衬底片切片后的崩边快速检验方法
62、一种sio2蓝宝石复合衬底
63、一种蓝宝石衬底片抛光方法
64、一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚
65、在基于图形化蓝宝石衬底的石墨烯上生长氮化镓的方法
66、一种用于led蓝宝石衬底的固定装置
67、生长在r面蓝宝石衬底上的非极性algan基msm型紫外探测器及其配方技术
68、一种提高gan基led发光效率的蓝宝石图形衬底结构
69、石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底及其配方技术
70、一种图形化蓝宝石衬底及其配方技术
71、基于蓝宝石衬底的氧化镓薄膜及其生长方法和应用
72、6英寸图形化蓝宝石衬底及配方技术和led外延片
73、一种用于蓝宝石衬底的碳化硅涂层及其配方技术
74、图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法
75、一种蓝宝石衬底片成品清洗工艺
76、一种蓝宝石衬底贴片方法
77、一种图形化蓝宝石衬底结构及其制作工艺
78、一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置
79、一种蓝宝石衬底片抛光加工废液之回收方法
80、一种干法刻蚀中图形化蓝宝石衬底用托盘
81、激光剥离方法和蓝宝石衬底上发光二极管器件外延结构
82、一种含有aln复合结构的蓝宝石复合衬底
83、一种石墨烯纳米图形化蓝宝石衬底在紫外led技术中的应用
84、tem蓝宝石衬底led试样晶格方向的确认方法
85、具有减反射碳化硅或蓝宝石衬底的发光器件及其形成方法
86、一种含有aln三明治结构的蓝宝石复合衬底
87、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
88、在纳米图形化蓝宝石衬底上外延生长氮化铝的方法
89、基于蓝宝石衬底的aln薄膜及配方技术
90、一种新型多层复合图形化蓝宝石衬底的配方技术
91、一种物理与化学相结合恢复gan-led用蓝宝石图形衬底的方法
92、一种uv胶及其在半导体蓝宝石衬底上的应用
93、蓝宝石衬底摆放架
94、tem蓝宝石衬底led试样晶格方向的确认方法
95、一种蓝宝石衬底工厂智能化污水处理方法
96、一种led蓝宝石衬底除蜡除颗粒清洗剂、配方技术、用途及清洗方法
97、一种图形化蓝宝石衬底结构及其制作工艺
98、图案化蓝宝石衬底的配方技术
99、一种纳米级图形化蓝宝石衬底的配方技术
100、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
101、一种氮化镓与蓝宝石衬底剥离装置及方法
102、一种蓝宝石衬底切割片再生加工方法
103、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
104、图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法
105、一种蓝宝石衬底片切片后自动插片装置
106、基于大斜切角蓝宝石衬底外延生长氮化镓的方法及其应用
107、一种非极性图形化aln/蓝宝石复合衬底及其配方技术
108、一种蓝宝石衬底片背面缺陷再生处理方法
109、一种蓝宝石衬底片切片后的分类方法
110、一种蓝宝石衬底制备工艺
111、一种用于蓝宝石衬底片盒放置的通用装置
112、一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置及装载方法
113、一种利用激光切割蓝宝石衬底led芯片的方法
114、一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法
115、蓝宝石衬底用减薄砂轮
116、一种适用于ⅲ族氮化物外延生长的石墨烯蓝宝石衬底
117、一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺
118、一种蓝宝石衬底片的单面抛光方法
119、一种图形化蓝宝石衬底的光刻方法
120、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
121、一种延长c向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法
122、一种蓝宝石衬底制作工艺
123、蓝宝石衬底的fe掺杂自旋场效应晶体管及其制造方法
124、一种基于石墨烯蓝宝石衬底的高光效led芯片
125、一种用于蓝宝石衬底抛光的硅铝复合磨料的配方技术
126、一种提高led亮度的蓝宝石图形化衬底配方技术
127、一种蓝宝石衬底清洗篮装置
128、一种在蓝宝石衬底上生长石墨烯的方法
129、一种高效自动化蓝宝石衬底片碱酸清洗一体机
130、一种通过蓝宝石衬底制备多晶sic薄膜的方法
131、一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用新方法
132、一种蓝宝石衬底抛光的划痕控制系统及控制方法
133、一种用于led蓝宝石衬底的抛光硅溶胶及其配方技术
134、在蓝宝石衬底上制备纳米晶石墨烯的方法
135、一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置
136、一种基于聚合物微球制备纳米级图形化蓝宝石衬底的方法
137、一种基于图形化蓝宝石衬底和预溅射技术的aln薄膜的配方技术
138、一种蓝宝石衬底单结太阳能电池结构及其配方技术
139、基于蓝宝石图形化衬底的led外延生长方法
140、蓝宝石图形衬底以及制作蓝宝石图形衬底的掩膜版和方法
141、一种蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构和曝光方法
142、一种实现蓝宝石衬底重复利用的垂直led芯片配方技术
143、蓝宝石衬底抛光贴蜡机
144、一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用
145、图形化蓝宝石衬底的回收方法
146、一种改善蓝宝石衬底减薄质量的预处理方法
147、一种蓝宝石衬底的刻蚀方法
148、一种激光刻蚀错位半球与odr结合的蓝宝石图形衬底及配方技术
149、一种纳米级图形化蓝宝石衬底及其配方技术和应用
150、一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺
151、一种在蓝宝石衬底上生长氮化镓材料的方法、氮化镓材料及其用途
152、一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的配方技术
153、一种利用紫外光致亲水性判断hvpe外延生长蓝宝石衬底gan掺杂类型的方法
154、蓝宝石衬底纳米孔配方技术
155、一种蓝宝石衬底刻蚀用托盘凸台及控制方法
156、一种图形化蓝宝石衬底返工晶片的单片式清洗方法
157、一种蓝宝石衬底图形化制作的方法
158、一种在蓝宝石衬底上生长石墨烯的方法
159、一种蓝宝石衬底图形化制作的方法
160、一种蓝宝石衬底的刻蚀方法
161、一种蓝宝石衬底回收再利用方法
162、led用蓝宝石衬底研磨工艺中冷却水过滤方法及装置
163、一种基于纳米压印技术制备图形化蓝宝石衬底的方法
164、复合图形化蓝宝石衬底及其外延片的制作方法
165、一种在蓝宝石衬底上生长具有不同极性gan结构的方法
166、纳米/微米复合图形化蓝宝石衬底及其配方技术
167、大尺寸蓝宝石衬底退火前的清洗及背面不良返工方法
168、一种利用激光切割制备蓝宝石衬底led芯片的方法
169、一种改善led用蓝宝石衬底研磨掉边的方法
170、蓝宝石衬底上的氮?极性的半极性gan层和器件
171、基于m面蓝宝石衬底上半极性(11-22)黄光led材料及其制作方法
172、一种导电蓝宝石衬底窗口加工方法
173、图形化蓝宝石衬底及发光二极管的制作方法
174、一种图形化蓝宝石衬底的制作方法
175、图形化蓝宝石衬底及发光二极管
176、蓝宝石衬底单电极led芯片结构及其配方技术
177、基于飞秒激光技术的gan薄膜与蓝宝石衬底的剥离方法
178、一种蓝宝石衬底回收方法
179、蓝宝石衬底晶片清洗液
180、基于c面蓝宝石衬底上n面黄光led结构及其制作方法
181、一种蓝宝石衬底led芯片激光切割方法
182、基于c面蓝宝石衬底上ga极性黄光led结构及其制作方法
183、一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法
184、基于蓝宝石衬底的氧化镓薄膜及其生长方法
185、一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法
186、led蓝宝石衬底加工用新型金刚石磨料及其配方技术
187、led用蓝宝石衬底研磨液
188、基于蓝宝石衬底的多层氧化镓薄膜及其生长方法
189、led蓝宝石衬底加工用新型金刚石磨料及其配方技术
190、一种图形化蓝宝石衬底的回收方法
191、制造图形化蓝宝石衬底的方法
192、一种用于蓝宝石衬底光盘数据读取系统的像差补偿方法
193、一种透镜形状图形化蓝宝石衬底及其配方技术
194、一种基于图形化蓝宝石衬底的led芯片去腊工艺
195、蓝宝石衬底回收再使用的方法
196、一种用于干法刻蚀led图形化蓝宝石衬底的托盘
197、一种蓝宝石衬底制作工艺
198、一种蓝宝石复合衬底及其配方技术
199、一种高光效可匀斑蓝宝石衬底led芯片及其配方技术
200、一种大尺寸蓝宝石衬底片的加工方法
201、一种用于蓝宝石衬底的研磨液组合物及其配方技术
202、一种用于蓝宝石衬底的抛光液及其配方技术
203、一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其配方技术
204、用于改善图形化蓝宝石衬底的底部刻蚀异常的方法
205、一种火山口型图形化蓝宝石衬底的配方技术
206、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
207、蓝宝石衬底及配方技术、制造发光二极管的方法
208、图形化蓝宝石衬底报废外延片的蓝宝石衬底再利用方法
209、一种规整排列纳米粗化蓝宝石衬底及配方技术
210、一种加速蓝宝石衬底隐形切割自裂的方法
211、一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法
212、生长在蓝宝石衬底上的金属al单晶薄膜及其配方技术和应用
213、一种氮化镓led蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法
214、图形化蓝宝石衬底及其制作方法、外延片的制作方法
215、蓝宝石衬底材料的复合磨料抛光液及其循环使用方法
216、蓝宝石衬底研磨装置
217、一种带蓝宝石衬底的垂直led芯片结构及其制造方法
218、一种纳米粗化复合图形化的蓝宝石衬底及配方技术
219、一种大尺寸蓝宝石衬底片研磨抛光的方法
220、波浪纹型蓝宝石衬底及其配方技术
221、一种蓝宝石图形衬底的配方技术
222、一种蓝宝石绝缘层上覆硅衬底及其配方技术
223、将图案化蓝宝石衬底不良品重制的方法
224、一种蓝宝石衬底抛光液的配方技术
225、纳米图案化蓝宝石衬底及其配方技术
226、蓝宝石图形衬底晶片及配方技术
227、用于生产蓝宝石图形衬底的分选方法
228、蓝宝石图形化衬底的配方技术
229、一种利用高温氧化性气体回收图案化蓝宝石衬底的方法
230、一种基于蓝宝石衬底生长石墨烯的方法
231、蓝宝石衬底的层状涂层
232、图形化蓝宝石衬底及发光二极管
233、一种以蓝宝石衬底为基板的gan基led多阶缓冲层生长方法
234、一种蓝宝石衬底发光二级管太阳灯及其制作工艺
235、一种大尺寸蓝宝石衬底片背面粗糙度的干式加工方法
236、蓝宝石衬底材料的复合碱抛光液及其循环使用方法
237、一种蓝宝石衬底led芯片隐形切割方法
238、生长在蓝宝石衬底上的高均匀性aln薄膜及其配方技术和应用
239、一种回收蓝宝石衬底的方法
240、一种用于蓝宝石衬底的抛光液
241、一种蓝宝石衬底晶片清洗液、配方技术、用途和清洗方法
242、基于复合软模板纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法
243、利用蓝宝石衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管的方法
244、高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的配方技术
245、蓝宝石衬底用去蜡清洗剂
246、一种大面积图案化蓝宝石衬底的配方技术
247、一种蓝宝石衬底晶片切削装置
248、一种避免图形失真的图形化蓝宝石衬底的配方技术
249、一种制备低反射率蓝宝石图形衬底的方法
250、一种以抛代洗的蓝宝石衬底材料表面洁净方法
251、蓝宝石衬底的拼接曝光方法
252、蓝宝石图形衬底的配方技术
253、一种混合磨料碱性蓝宝石衬底材料cmp抛光液及其配方技术
254、无残余层纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法
255、双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液
256、在蓝宝石衬底上生长外延用aln模板的方法
257、一种蓝宝石图形化衬底自动检测设备
258、一种提高蓝宝石衬底片表面质量和产品良率的加工方法
259、蓝宝石衬底可自剥离的氮化镓薄膜制备用外延结构及方法
260、在蓝宝石衬底上制备微纳米图形的方法
261、基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
262、一种在r面蓝宝石衬底上制备非极性gan薄膜方法
263、一种用于制备蓝宝石衬底的gan基半导体激光器腔面的方法
264、一种蓝宝石图形化衬底配方技术
265、利用蓝宝石衬底制备垂直结构氮化镓基发光二极管的方法
266、一种用于algainn材料体系薄膜生长的分割图形蓝宝石衬底
267、一种蓝宝石衬底晶片抛光后的超声清洗方法
268、蓝宝石衬底的制造方法
269、一种用于蓝宝石衬底的接触式厚度测量装置及方法
270、基于固结磨料抛光垫的蓝宝石衬底的超精密加工方法
271、蓝宝石衬底晶片抛光后的清洗方法
272、一种制备gan生长用图形化蓝宝石衬底的方法
273、一种回收图形化蓝宝石衬底的方法
274、用于蓝宝石衬底图形化的纳米压印装置及方法
275、基于图形化蓝宝石衬底的gan基pin探测器及配方技术
276、一种蓝宝石纳米孔状图形衬底的配方技术
277、一种采用蓝宝石衬底的发光二极管
278、一种包括蓝宝石组合衬底的发光器件
279、蓝宝石图形衬底及其配方技术和发光二极管的制造方法
280、一种在蓝宝石衬底上制备纳米图案的方法
281、用于图形化衬底的蓝宝石基片的加工方法
282、图形化衬底专用蓝宝石衬底片加工工艺
283、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
284、一种蓝宝石衬底的清洗方法
285、一种蓝宝石衬底倒装结构led
286、一种蓝宝石复合衬底和其配方技术及其应用
287、蓝宝石纳米碗阵列图形衬底的制作方法
288、纳米级图案化蓝宝石衬底的全湿化学配方技术
289、一种在蓝宝石衬底上生长自剥离氮化镓薄膜的方法
290、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
291、一种蓝宝石衬底上发光二极管芯片的制作方法
292、一种蓝宝石衬底上亚微米级的图形的配方技术
293、一种图形化的蓝宝石衬底的制造方法
294、一种纳米碗状蓝宝石图形衬底的制作方法
295、一种蓝宝石led图形衬底及其配方技术
296、一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法
297、蓝宝石衬底转移石墨烯的退火方法
298、单面抛光机用蓝宝石衬底抛光液
299、一种用于led用蓝宝石衬底片精密抛光的抛光液
300、一种用于制造发光器件的蓝宝石组合衬底
301、基于蓝宝石衬底的石墨烯cvd直接外延生长方法及制造的器件
302、一种led衬底片用的蓝宝石或碳化硅晶片的表面处理用的化学机械抛光液及其配方技术
303、图案化蓝宝石衬底的制作工艺
304、一种矩阵式蓝宝石衬底及其配方技术
305、一种用于提高gan膜质量的蓝宝石图形衬底及配方技术
306、一种蓝宝石衬底上发光二极管芯片的制作方法
307、一种用于蓝宝石衬底的研磨液及其配方技术
308、在蓝宝石图形衬底上外延生长氮化物外延膜的方法
309、大尺寸晶圆级纳米图形化蓝宝石衬底压印装置及方法
310、于蓝宝石衬底表面制作纳米球的方法
311、蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法
312、一种图形化蓝宝石衬底的方法及装置
313、一种蓝宝石图形衬底的配方技术
314、一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光液及其应用
315、便于去除蓝宝石衬底的外延结构
316、一种蓝宝石衬底减薄的方法
317、蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
318、在非极性蓝宝石衬底上生长水平排列氧化锌纳米线的方法
319、一种提升icp刻蚀蓝宝石图形衬底产能的工艺方法
320、蓝宝石衬底材料的退火工艺
321、一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液
322、一种蓝宝石衬底抛光工艺
323、一种在蓝宝石图形化衬底上生长高质量gan晶体材料的生长技术
324、预处理蓝宝石衬底提高led出光效率的方法
325、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
326、一种蓝宝石图形衬底激光剥离的方法
327、便于去除蓝宝石衬底的外延结构
328、一种图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀方法
329、蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法
330、一种通过湿法剥离gan基外延层和蓝宝石衬底来制备垂直结构发光二极管的方法
331、反压式双面研磨抛光机
332、准光子晶体图形蓝宝石衬底及其制造方法、发光二极管及其配方技术
333、一种纳米级图形化蓝宝石衬底的配方技术
334、一种图形化蓝宝石衬底的配方技术
335、一种提高蓝宝石衬底氮化镓外延层均匀性的方法
336、一种氮化镓基led外延用蓝宝石图形化衬底配方技术
337、图形化蓝宝石衬底的刻蚀方法和系统
338、一种干法刻蚀与湿法腐蚀混合制备蓝宝石图形衬底的方法
339、图形化蓝宝石衬底的光刻方法
340、一种氮化镓基led外延用蓝宝石图形化衬底配方技术
341、用于干法刻蚀的蓝宝石衬底表面加工前期生产方法
342、蓝宝石衬底led芯片的切割方法
343、蓝宝石基复合衬底及其制造方法
344、基于应力作用的逐单元分离蓝宝石衬底的方法
345、蓝宝石衬底led芯片的切割方法
346、蓝宝石图形衬底的制作方法
347、蓝宝石衬底材料cmp抛光液的配方技术
348、一种蓝宝石图形衬底及其配方技术
349、蓝宝石衬底材料抛光后表面洁净方法
350、一种基于蓝宝石衬底的单芯片白光发光二极管
351、蓝宝石衬底的制造方法及半导体装置
352、algan基蓝宝石衬底的紫外led器件的制作方法
353、制备用于制造异质结构体的蓝宝石衬底的表面
354、在蓝宝石图形衬底上制备无应力gan厚膜的方法
355、去除gan基led芯片蓝宝石衬底的方法
356、一种超声辅助化学机械抛光蓝宝石衬底材料的装置及方法
357、蓝宝石衬底的algainp发光二极管外延片及其配方技术
358、一种厚膜氮化镓与衬底蓝宝石自剥离的实现方法
359、基于蓝宝石衬底的algan基多量子阱uv-led器件的制作方法
360、蓝宝石衬底上的多量子阱紫外led器件的制作方法
361、在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓薄膜的方法
362、一种改善蓝宝石衬底上gan厚膜完整性的方法
363、在蓝宝石衬底上二次生长高质量zno单晶厚膜的方法
364、利用固体激光器无损剥离gan与蓝宝石衬底的方法
365、蓝宝石图形衬底的配方技术
366、蓝宝石衬底、使用该蓝宝石衬底的氮化物半导体发光元件及氮化物半导体发光元件的制造方法
367、用于氮化物外延生长的图形蓝宝石衬底的制作方法
368、蓝宝石衬底发光二极管芯片的外延生长方法
369、蓝宝石衬底抛光液及其制作方法
370、一种去除蓝光发光芯片蓝宝石衬底的方法
371、蓝宝石衬底清洗方法
372、蓝宝石衬底同温双缓冲层配方技术
373、一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
374、蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法
375、一种蓝宝石衬底上的发光二极管芯片的制作方法
376、一种在蓝宝石衬底材料上外延生长alxga1-xn单晶薄膜的方法
377、蓝宝石衬底材料抛光液及其配方技术
378、一种生长在蓝宝石衬底上的复合缓冲层及配方技术
379、利用固态uv激光器对蓝宝石衬底划线的系统及方法
380、蓝宝石衬底材料高去除速率的控制方法
381、基于镓氮/蓝宝石透明衬底发光二极管结构及配方技术
382、蓝宝石衬底材料抛光液及其配方技术
383、蓝宝石衬底粗糙化的发光二极管及其制造方法
384、用于制备高质量氧化锌薄膜的蓝宝石衬底原位处理方法
385、一种湿法腐蚀蓝宝石图形衬底的方法
386、复合蓝宝石衬底基片及其配方技术
387、蓝宝石衬底磨削方法
388、在蓝宝石图形衬底上制备高质量gan基材料的方法
389、蓝宝石衬底发光二极管芯片电极制作方法
390、利用固态uv激光器对蓝宝石衬底划线
391、色心蓝宝石衬底的配方技术
392、一种纳米级蓝宝石衬底的加工方法
393、蓝宝石衬底减薄方法
394、一种外延生长用蓝宝石衬底的镓原子清洗的方法
395、在蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的方法
396、在蓝宝石衬底上异质外延生长碳化硅薄膜的方法
 
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